半导体废水处理污染物种类多,成分复杂,通常包括多种重金属废水,有机废水以及硅和氟废水。今天依斯倍环保将和小伙伴们一起聊聊你知道一般半导体废水是怎么处理的,希望对大家的日常工作有所帮助。
关于半导体废水处理的方法:
1、HF浓废液
此废液至处理系统后,添加Na0H提升pH值至8~10之间,注入CaC12, Ca(OH)2 与HF反应向生成CaF2污泥,即HF+CaCl2+Ca(0H)2←CaF2+HCl+H20的反应式。
2、一般废水
包括HF洗涤废水,酸/碱性废水。经水系统树脂塔再生废液,废气洗涤废水等进入调节池 混合均匀,稀释后泵入调整池中,添加NaOH、H2S04等酸碱中和剂,将之调整为6.0~9.0的pH值范围后放流入园区下水道。
3、回收处理单元
1)有机废液回收后将IPA溶剂、显影液及浓硫酸废液等分开收集,并委外处理。
2)浓缩液回收再利用——纯水系统设备产生之浓缩液,除供应原系统反洗,再生用外,更可补充大量飞散之冷却用水,如此不但降低排水量,亦可节省用水量。
3)纯水供应系统回收水—目前纯水供应系统可直接回收70%至纯水制造系统,另将制程之洗涤水回收以供冷却系统及卫生用水,此部份占20%,因此,纯水供应系统回收水已可达90%。
4)碱性再生废液—纯水系统碱性再生废液收集应用于废水处理系统之pH值调节用,如此可减少化学药剂之使用量。
上面是依斯倍环保小编和大家聊聊你知道一般半导体废水是怎么处理的,希望能对大家有所帮助。
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